型号：XD-MA6200
半自动双面（双面对准）光刻机
人工取片放在载料台上并通过视觉自动寻遍定位，入料手臂吸附产品到对位平台上，对位时，采用产品真空吸附在直线电机手臂的吸盘上不动，下格板通过视觉自动对位，使产品与下格板自动对准后，手臂微动下降使产品与下格板接触并真空转移到下格板，完成高精度对准，上格板台下降并自动找平，对准2CCD再次确认格板与格板对准度和产品与下格板对准度，确保对位精度数值在对准范围内时，完成曝光。
升降采用无间隙滚珠直进导轨、伺服马达+精密丝杆升降机构，使本机片对版在分离接触时漂移特小，对准精度高，对准速度快，从而提高了的成品率。
应用领域
▶ 中小规模集成电路
▶ 半导体元器件
▶ 光电子器件
▶ 声表面波器件
▶ 薄膜电路
外形尺寸
